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| 日期 | 分红送配 |
| 2019-05-29 | 每份份额折算0.644523份 |
| 2019-01-02 | 每份份额折算1.03422份 |
| 2018-01-02 | 每份份额折算1.0184份 |
| 2017-01-03 | 每份份额折算1.01803份 |
| 2016-01-04 | 每份份额折算1.00555份 |
| 基金名称 | 单位净值 | 日增长率 |
| 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF联接A | 2.3381 | 5.42% |
| 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF联接C | 2.3333 | 5.42% |
| 科创半导 | 0.9744 | 5.40% |
| 广发中证半导体材料设备ETF发起式联接A | 3.2399 | 4.90% |
| 广发中证半导体材料设备ETF发起式联接C | 3.2156 | 4.89% |
| 富国中证通信设备主题ETF发起式联接A | 3.4864 | 4.86% |
| 富国中证通信设备主题ETF发起式联接C | 3.4720 | 4.86% |
| 国泰中证半导体材料设备主题ETF联接A | 2.8162 | 4.85% |
| 天弘中证半导体材料设备主题指数发起A | 3.2358 | 4.85% |
| 天弘中证半导体材料设备主题指数发起C | 3.2210 | 4.85% |