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| 日期 | 分红送配 |
| 2026-02-10 | 每份派现金0.0650元 |
| 2025-02-06 | 每份派现金0.0600元 |
| 2024-01-30 | 每份派现金0.0400元 |
| 2022-03-22 | 每份派现金0.1450元 |
| 2021-03-11 | 每份派现金0.1150元 |
| 基金名称 | 单位净值 | 日增长率 |
| 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF联接A | 2.3381 | 5.42% |
| 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF联接C | 2.3333 | 5.42% |
| 华泰柏瑞上证科创板半导体材料ETF联接A | 2.4461 | 5.40% |
| 华泰柏瑞上证科创板半导体材料ETF联接C | 2.4408 | 5.40% |
| 科创半导 | 0.9744 | 5.40% |
| KC半导体 | 1.1858 | 5.39% |
| 科半导体 | 1.0070 | 5.38% |
| 广发中证半导体材料设备ETF发起式联接A | 3.2399 | 4.90% |
| 广发中证半导体材料设备ETF发起式联接C | 3.2156 | 4.89% |
| 富国中证通信设备主题ETF发起式联接A | 3.4864 | 4.86% |